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μPhase®干涉仪
μPhase®干涉仪
全欧光学μPhase®高精度干涉仪,是用来测量光学元件的面型的仪器,可测量平面、球面、圆柱面、复曲面和非球面等元件的面型,光学镜头的透射波前,球面镜的曲率等。可测量元件的材料有光学玻璃材料,塑料,陶瓷和金属等。干涉仪为非接触式测量,可保证获得对光学元件表面和波前的高精度数据的同时,不会损坏光学元件的表面,测量原理为泰曼格林型或菲索型。同时分析软件可对采集的数据进行离线分析和管理。产品基于模块化设计,为用户提供了非球面模块,圆柱分析模块,光纤连接模块,棱镜分析模块,楔形分析等模块以供选择,并可为用户提供模块化定制服务。μPhase®高精度干涉仪的典型应用为集成在单点金刚石车床中,对被加工工件进行在线实时检测,通过软件分析,弥补车床加工误差,以保证加工精度。产品还搭配了高分辨率相机,可选配多种镜头,标准波长632.8nm光源,并可对XYZ轴高精度调节。

μPhase®高精度干涉仪

μPhase®系列干涉仪用于测量高精度要求的光学零件,材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等,非接触式测量可保证在不伤害光学表面的前提下对光学表面及波前进行较精确的评价。μPhase®系列干涉仪得益于该设备紧凑与模块化的设计理念,使它们得到灵活、高效的使用。μPhase®系列干涉仪的各个组成部件相对独立,相互兼容,可灵活组合成有针对性应用的强大干涉计量系统。

 μPhase®干涉仪主机

μPhase® Vertical

μPhase

测量各种零件
 
产品特点:
  • 模块化设计,结构紧凑;
  • 测量适用性强,保证可以在各种工作与生产环境中进行检测;
  • 可测量反射率0.3%-100%的光学表面,覆盖范围广;
  • 数字化测量,避免人为损坏;
  • 完美的结构,全面的软件,为生产及实验室提供支持;
  • 独一无二的的产品特点:泰曼格林型/菲索型组合或用于校准样品的第二个相机,为μPhase®系列干涉仪的使用提供了便利。
 
μPhase® Vertical
  • 适用于厂房、车间、实验室的标准干涉仪检测系统
  • 立式检测,结构紧凑,占地面积小
  • 标配一个沿Z轴方向电动平移的平台,可选配第二个平台
  • 倾斜及X/Y平移精调
  • 可完成各种类型的反射与透射检测
  • 可采用透射法检测双胶合透镜
  • 凹面与凸面球面镜的检测范围:标准曲率半径范围:1mm-225mm,
直径最大55mm(采用50mm物镜μLens PLANO 50)
  • 集成半径测量单元
  • 可选CGH,用于测量非球面、柱面、轮胎面等
  • Z轴方向设置导轨电机,电动升降
  • 曲率半径实现一键式自动测量
 
μPhase® SPHERO UP, μPhase® PLANO UP,μPhase® Plano Down
  • 用于测量不同的平面和球面光学零件
  • 操作直观而简单,适合非专业人士操作
  • 测量范围:
μPhase® Plano Down:平面φ≤2 mm 至 150 mm;
μPhase® PLANO UP:平面φ≤2 mm 至 100 mm ;
μPhase® SPHERO UP:球面,曲率半径(凸面)2mm—  225mm,直径 最大55mm ;
球面,曲率半径(凹面)-3mm—-570mm
  • 结构紧凑,占用空间下,可灵活的与产线结合   
 
μPhase® UNIVERSAL 100 μPhase® Plano 300
  • 用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统
  • 理想的大型平面的检测系统,光学材料的均匀性检测系统
  • 球面测量范围:凹面曲率半径最大-3000mm(提供相应导轨)
  • 理想的成盘抛光分块镜面形检测系统
  • 平面测量范围:最大98mm
  • 测量范围60-300mm
  • 半径测量系统集成导轨和光栅尺
  • 立式检测系统,其它检测方式根据要求可订制
  • 适合长焦光学零件和系统的检测
  • 具有重型光学元件的支承、调整等操作功能。
  • 与市场上通用的4英寸标准球面物镜相兼容
 
  • 可选旋转对称非球面的检测配件,检测范围10mm-80mm,CGH检测轮胎面、柱面等
 
μPhase®高精度干涉仪
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μPhase® PRO紧凑型车间用干涉仪

新型μPhase® PRO干涉仪能够快3计划软件测量光学表面和波前,测量时间只需数秒钟。 该干涉仪操作简单,集成校准模式,测量迅速,是在线检测平面和球面样品的理想设备。

产品应用

  • 光学平面和球面样品的面形误差测量           
  • 镜头的透射波前测量
  • 曲率半径测量3e
  • 光学生产的质量控制
  • 光学零件的进货检验
  • 在线检测
μPhase® PRO紧凑型车间用干涉仪
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OptoFlat高精度低相位干涉仪

OptoFlat是行业内独有的低成本、高稳定性、高刚性以及结构紧凑的平面专用低相干干涉仪。其采用低相干性长寿命的633nm的LED光源,波长带宽1nm。在测量透明材质的双面平行光学原件的单个表面面型时不会受到其他表面的干涉条纹影响,所以OptoFlat可以排除来自多个表面的干扰,直接测得目标表面的面型精度。对于测量实心玻璃棱镜的前表面面型时也可以抑制其他反射面的影响的。
产品特点
  • 自动光强调节与FlexFlatTM传输平台相结合,减少了操作人员在测量时的干预
  • 无需反复测量,无需扫描测试位置
  • 与其他基于激光的Fizeau干涉仪不同,OptoFlat集成了长寿命的LED光源
  • 内置专有的PurePhaseTM方法提升了在不稳定的振动环境中的干涉相位测量
  • 校准过的低畸变1X和4X光学放大倍率的比例尺准确的测试面积尺寸,,可自动标记或用户定义有效通光孔径,便于判定测试合格/不合格
  • 简单易用的测试软件界面便于光学原件的批量测试,使任何人只要稍加培训就可以轻松测试多样的光学原件,专业的样品承载台可快3计划软件批量测试每个零件。非接触式传感器开始测量并能快3计划软件分析判断产品合格/不合格
  • 设计简洁,占地小,没有杂乱的电缆,只有交流电源和USB电缆到电脑
产品应用
  • 测量抛光光学表面的面型和透射波前
OptoFlat高精度低相位干涉仪
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